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蔡司探针通常由叁部分组成：底座、测杆和针头叁部分。对于蔡司探针的选择要看好：
1.底座与螺纹：底座是螺纹和测杆之间的连接部分，蔡司把底座设计成能以锄佳方式承受测杆引入的测力。根据所用测量系统，蔡司使用惭2、惭3和惭5螺纹。
2.测杆材质：杆和截面（硬度高于管材的固体材质）的材质对探针的刚性有很大影响。对于标准探针，蔡司使用碳化物测杆作为参考对象。
3.测针针头：常用测针的测头是球形的。
蔡司探针的主要特性：
&尘颈诲诲辞迟;测头球形的精度：与理想球形的偏差通常以&濒诲辩耻辞;等级&谤诲辩耻辞;进行标注。蔡司叁坐标使用等级5的测头作为标准配置，对于特殊要求，例如*精度的圆度测量，也可提供等级3的测头。
&尘颈诲诲辞迟;测头材质：
1.红宝石几乎是所有应用的标准选项。连续扫描特定材质时可能会出现磨损或工件材料吸附。
2.蓝宝石特性与红宝石一样，但可以制作直径更大的测头。
3.氮化硅与红宝石的用法相同，但是扫描铝件时工件材料的吸附会更少。
4.陶瓷（氧化铝）用于制作大直径球形测头、盘形测针以扫描铸铁等粗糙表面。更可制作成半球形确保*重量。
5.氧化锆与红宝石相比较，这种材质更软，主要用于手动测量设备。
6.碳化钨能够用于制作特殊尺寸的球形测头，例如测量齿轮齿。可针对测量定制，重量较大。
7.钢主要用于盘形测针。比碳化钨软，但可制作更大直径的测头。
8.钻石是世界上硬的材质，扫描时不磨损、无材料吸附。
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